mems是英文micro electro mechanical systems的缩写,即微电子机械系统微电子机械系统(mems)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、liga和晶片键合等技术)相结合的制造工艺软件编程入门自学,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统 微电子机械系统(mems)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活产生革命性的影响

什么是mems?